Máy làm sạch laserCó thể sử dụng các hiệu ứng độc đáo của các chùm tia laser năng lượng cao để làm sạch bề mặt của phôi theo cách không tiếp xúc, hiệu quả cao. Quá trình này có thể được chia thành ba cơ chế chính, tương ứng đạt được việc loại bỏ chính xác bụi bẩn, rỉ sét và lớp phủ, trong khi đảm bảo chất nền còn nguyên vẹn.
1. Làm sạch bay hơi: Khi sử dụngMáy làm sạch laser, loại laser thích hợp và chiều rộng xung phải được chọn dựa trên sự khác biệt về tốc độ hấp thụ của năng lượng laser giữa chất nền và chất gây ô nhiễm, do đó năng lượng laser chủ yếu được hấp thụ bởi chất gây ô nhiễm. Trong quá trình này, chất gây ô nhiễm bị bốc hơi nhanh chóng do sự gia tăng nhanh chóng của nhiệt độ, đạt được sự loại bỏ không theo dõi, trong khi chất nền vẫn còn nguyên vẹn do sự phản xạ của hầu hết các laser.
2.
3. Hiệu ứng sốc rung:Máy làm sạch laserSử dụng các đặc tính độ rộng xung cực ngắn của chùm tia laser để tạo ra các rung động siêu âm tần số cao trên bề mặt phôi thông qua hành động liên tục của các xung. Sự rung động này tiếp tục tạo ra các sóng sốc mạnh mẽ, liên tục gõ và phá vỡ các hạt được gắn vào bề mặt của chất nền, cuối cùng làm chúng ra khỏi để đạt được sự làm sạch sâu.
